美国商务部12月初宣布向半导体初创公司xLight投资最高1.5亿美元，这是美国政府首次以股权形式直接介入光刻设备领域的技术竞争。这笔资金来自《芯片与科学法案》，交易完成后，美国政府将成为这家初创公司的最大股东，打破了荷兰巨头ASML在极紫外光刻技术上长达数十年的垄断格局。
ASML是全球唯一能够制造极紫外光刻机的企业，控制着超过90%的EUV市场份额，其设备单台售价高达4亿美元，是台积电、三星等顶级芯片制造商实现3纳米及以下工艺节点的唯一选择。xLight试图从技术根源上改写这一现状——该公司并非制造完整的光刻机，而是瞄准EUV系统的核心瓶颈：光源技术。
xLight的技术路径源自粒子物理领域的自由电子激光器技术。与ASML当前采用的激光等离子体光源不同，这家公司计划建造由粒子加速器驱动的大型装置，通过高能电子束激发极紫外光子。这种设备单体尺寸预计达到100米乘50米，将作为"公用设施级"装置部署在晶圆厂外围，为多台光刻机提供更稳定、更高功率的光源。
xLight由量子计算背景出身的首席执行官尼古拉斯·凯莱兹掌舵，而担任执行董事长的是英特尔前CEO帕特·盖尔辛格。盖尔辛格在今年早些时候因英特尔制造业务持续落后、盈利能力恶化而被迫离职，但迅速在半导体设备创新领域找到新的战场。今年夏天，xLight已从包括Playground Global在内的投资机构获得4000万美元融资，盖尔辛格本人正是该风投机构的合伙人。
