欧盟委员会宣布在比利时微电子研究中心启动了规模最大的芯片法案试点生产线NanoIC。该设施总投资达25亿欧元,其中欧盟拨款7亿欧元,各国及地区政府投资7亿欧元,其余资金由ASML等行业伙伴共同注资。NanoIC是欧洲首家部署最先进极紫外光刻设备的设施,专注于2纳米以下工艺的芯片设计与制造。
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